叠加空气浮动平台
• 使用空气弹性势能作为支撑导轨，实现滑轨与滑台之间的零摩擦 • 优异的动态性能和定位精度 • 气浮平台的正负压设计 • 在气浮导轨上施加重力分布不均的大体积负载，可以更好地确保气导轨的正常气隙
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产品详情
空心对位平台及其原理
超精密气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气体浮力来支撑和悬浮物体，以实现非接触式悬浮效果。其原理是在平面界面上注入压缩空气或氮气，通过气体流动和气膜的形成产生气体浮力来支撑被悬浮的物体，形成一层气体悬浮层，从而实现物体的悬浮。
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技术参数
有效行程 300mm*300mm 定位精度 ±0.3μm 双向重复定位精度 ±0.2μm 倾斜 ±3角秒 跳动 ±3角秒 滚转 ±3角秒 直线度 ±1μm 平整度 ±1μm 分辨率 1nm 最大加速度 2 g 最大速度 1000 mm/s 最大水平负载 60 kg 最大径向负载 30 kg 持续推力 上轴 78 N 下轴 156 N 峰值推力 上轴 432 N 下轴 864 N 原地稳定性 ±10nm 工作压力 5.5bar（推荐使用干燥空气，并进行水和油过滤，粉尘过滤至小于0.5μm） 平台质量 75kg 平台材质 铝 平均无故障时间 25000Hours 注意：以上测试数据是在实验室环境下，使用线性放大器获得的，测试点位于中心点上方25mm处 -
产品特性
高性能直驱气浮平台，高动态性能
气体包围式预加载，非接触式设计
专为高性能扫描和检测应用而设计
具有纳米级定位精度的气浮平台
双作用线性电机驱动
可用作单轴，或与其他轴组合形成多轴系统
非常适合重载应用
可定制更大的行程 -
文件下载
用于非接触式悬挂的超精密气浮平台，具有纳米级精度、零摩擦、高稳定性和刚度，适用于大型光学镜头检测、半导体领域的晶圆缺陷检测、精密制造和封装。
应用领域
一款高精度三轴高精密运动台，点胶机、贴片行业、固晶机、插件机、玻璃切割行业，半导体制造，精密测量，激光加工，科研仪器，显示面板等只要是动梁的都能使用
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