BZDDM-X500-Y400-Z10-ZKHY
高精度三轴运动平台，三轴叠层结构，可用于激光加工、光学制造与测试及其他需要高精度和高效率的工业项目 三轴直驱结构设计 Z轴直驱平面提升结构 Z轴内置气动平衡配置，最大负载10kg XY轴采用高精度直线导轨，Z轴采用防蠕动交叉滚子导轨 XY轴采用大理石底座，行程尺寸根据客户需求定制
扫一扫二维码 加微信有惊喜
所属分类
关键词
-
产品详情
高精度三轴运动平台，三轴层叠结构，可用于激光加工、光学制造与检测等需要高精度、高效率的工业项目
三轴直驱结构设计
Z轴直驱平面提升结构
Z轴内置气动平衡配置，最大负载10kg
XY轴采用高精度直线导轨，Z轴采用防爬行
交叉滚子导轨
XY轴采用大理石底座，行程尺寸根据客户需求
可定制 -
技术参数
平台类型 BZDDM-X500-Y400-Z10-ZKHY 轴系 X-axis Y-axis z-axis 电机类型 ZWU-30B-3 ZWU-30B-3 (双动子) - 持续推力 153 N 153 N 23 N 峰值推力 884 N 884 N 170 N 持续电流 2.54Arms 2.54Arms - 峰值电流 8.84Arms 8.84Arms - 机械参数
有效行程 500 mm 400 mm 10 mm 负载 Z轴5.5公斤 Z轴X轴5.5公斤 5.5kg 最大速度 600mm/s 600mm/s 100mm/s 工作速度 200mm/s 100mm/s 100mm/s 垂直直线性 ±2um ±2um ±2um 加速度 0.6g 0.6g 0.3g 暂停时间 - - - 重复精度 ±1um ±1um ±1um 定位精度 ±2um ±2um +2um 水平直线性 ±2um ±2um ±2um 俯仰角 ±5角秒 ±5角秒 - 偏航角 ±5角秒 ±5角秒 - 正交性 ±5角秒 - Z轴对应频率 3um@230nm@50Hz 全局平面跳动 - 安装方式 水平安装 
-
产品特性
产品特性
三轴直驱结构设计
Z轴直驱平面提升结构
Z轴内置气动平衡配置，最大负载10kg
XY采用高精度线性导轨，Z轴采用防蠕动
交叉滚子导轨
XY采用大理石底座，行程尺寸根据客户需求
可定制
结构特性
采用XYZ叠加结构，无铁芯线性电机直驱控制，无齿槽效应，低速运行平稳（速度波动小）
配备非接触式高精度尺，具有优异的动态性能、定位精度和重复定位精度
运行平稳，力稳定
XY轴叠加结构，大理石底座，稳定性高，Z轴直驱平移结构，直接上下移动负载，内置平衡气缸，行程10mm定制化
可根据客户需求配置行程、负载
特殊结构可评估定制
-
文件下载
一种高精度三轴运动平台，采用三轴叠层结构，可用于激光加工、光学制造与测试以及其他需要高精度和高效率的工业项目
应用领域
一款高精度三轴高精密运动台，点胶机、贴片行业、固晶机、插件机、玻璃切割行业，半导体制造，精密测量，激光加工，科研仪器，显示面板等只要是动梁的都能使用
半导体制造
电子制造
精密测量和测试
医学与生物技术
自动化处理和3D制造
科学研究和高端设备
联系•总部
扫一扫 添加微信
友情链接：