BZDM-X340-Y420-RB0.5
该平台是一个具有空心结构、大尺寸通孔、高动态性能的精密运动平台，满足晶圆放置和检测应用，也适用于CCD成像、LED封装检测等其他高端制造行业。 采用叠层紧凑型空心结构 工作点位置降低，光栅反馈位置靠近晶圆 在晶圆检测中至关重要的表面，Y轴采用双驱动直线驱动 直线电机驱动 提供高推力、1m/s速度和精确定位
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产品详情
该平台是一个具有空心结构、大尺寸通孔、高动态性能的精密运动平台，满足晶圆放置和检测应用，也适用于CCD成像、LED封装检测等其他高端制造行业
采用叠层紧凑型空心结构
工作点位置降低，光栅反馈位置靠近面板
在晶圆检测中至关重要的表面，在Y轴上采用双驱动直线运动
直线电机驱动
提供高推力、1m/s速度和精确定位 -
技术参数
加载 公斤 30 行程 毫米 X.340 Y.420 分辨率 微米 0.5 定位精度 微米 10 重复定位精度 微米 ±3 水平直线性 微米 10 垂直直线性 微米 10 安装方式 水平 运动参数
速度 m/s 1 加速度 mm/s2 20 停止时间 秒 0.09 附件
编码器 PCS 2 光电开关 PCS 2 导轨 PCS 7 牵引链 PCS 2 电机参数
电机类型 ZW3-H55-3 持续推力 牛顿 413 峰值推力 牛顿 1113 持续电流 臂 3.23 峰值电流 臂 8.68 基材 铝 基板平面度 20 um 
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产品特性
产品特性
堆叠式布局
紧凑型空心结构
采用高精度直线导轨
高动态性能，高精度
Y轴由双驱动线性电机驱动
行程、尺寸、电缆可定制结构特性
采用叠层紧凑型空心结构
工作点位置降低，光栅反馈位置靠近晶圆
在晶圆检测中至关重要的表面，Y轴采用双驱动直线电机
线性电机驱动
提供高推力、1m/s速度和精确定位
定制化
可根据客户需求配置，行程、负载、
特殊结构进行评估和定制 -
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该平台是一个具有空心结构、大尺寸通孔、高动态性能的精密运动平台，满足晶圆放置和检测应用，也适用于CCD成像、LED封装检测等其他高端制造行业
应用领域
一款高精度三轴高精密运动台，点胶机、贴片行业、固晶机、插件机、玻璃切割行业，半导体制造，精密测量，激光加工，科研仪器，显示面板等只要是动梁的都能使用
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