空心校准平台
· 采用层压式紧凑型空心结构 · 工作点位置降低，光栅反馈位置靠近工作台面，这在晶圆检测中至关重要，Y轴由双驱动线性电机驱动 · 可提供大推力，速度1m/s，定位精度高
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产品详情
空心对位平台及其原理
该平台与视觉CCD校正系统的连接可以完成高精度校正工作，这是工业自动化中的核心技术。
在工业自动化驱动发展的过程中，客户对高质量产品的需求越来越高，这对设备的加工精度要求也越来越严格，例如手机外壳印刷定位、PCB印刷定位、触摸屏贴合等高精度产品生产，为了满足其高精度对准要求，通常在设备中内置对准平台。 -
技术参数
负载 kg 30 行程 mm X.340 Y.420 分辨率 um 0.5 定位精度 um 10 重复定位精度 um ±3 水平直线性 um 10 垂直直线性 um 10 安装方式 水平 速度 m/s 1 加速度 mm/s² 20 停止时间 s 0.09 编码器 PCS 2 光电开关 PCS 2 导轨 PCS 7 牵引链 PCS 2 电机类型 BZD3-H55-3 持续推力 N 413 峰值推力 N 1113 持续电流 臂 3.23 峰值电流 臂 8.68 基材 铝 基板平面度 20 um -
产品特性
· 层压式布局
· 紧凑型空心结构
· 采用高精度直线导轨
· 高动态性能，高精度
· Y 轴由双驱动线性电机驱动
· 行程、尺寸和电缆可以定制 -
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该平台是一个具有空心结构、大尺寸通孔、高动态性能的精密运动平台，广泛应用于光学测量仪器、晶圆对准、LCD面板检测、半导体加工、激光切割和钻孔、复合机床等领域。
应用领域
一款高精度三轴高精密运动台，点胶机、贴片行业、固晶机、插件机、玻璃切割行业，半导体制造，精密测量，激光加工，科研仪器，显示面板等只要是动梁的都能使用
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