XY气浮平台
• 气浮平台具有极高的精度和稳定性 • 气浮平台具有优异的承载能力和运动性能 • 气浮平台的维护成本低，因为摩擦系数小，不会造成磨损 • 高直线度和平整度 • 由于其产品特性，气浮平台对使用环境有一定的要求，需要在洁净室中使用 • 需要使用洁净干燥的空气供应
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产品详情
气浮平台及其原理
气浮平台是一种以气体为介质的悬浮系统，利用气体流动产生的气体浮力来支撑和悬浮物体，以达到非接触悬浮的效果。
其原理是在平面界面上喷射压缩空气或氮气，通过气体流动和气泡形成产生气体浮力来支撑被悬浮物体，形成一层气体悬浮层，实现物体的悬浮，从而达到高精度加工、光刻和检测的目的。 -
技术参数
轴 X-axis Y-axis 行程 900 mm 1350 mm XX 直线度 120 kg ≥ 55KG Z 轴重量 YY 线性度 0.1 微米 0.1 微米 定位精度 5 角秒 5 角秒 重复定位精度 10 角秒 10 角秒 偏航 ±2.5 角秒/50mm / 俯仰 ±5 角秒/50mm / -
产品特性
• 碳化硅陶瓷气浮导轨，超高精度
• 速度1m/s，加速度4g，快速定位
• Y轴双驱动双龙门结构，承载能力强
• 可选光栅或激光干涉仪位置反馈
• 可根据客户要求定制配置、行程、负载、特殊结构等 -
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双轴超精密气浮运动平台，采用有限元分析优化结构和气浮轴承补偿设计技术，提高精度，同时提供最高的动态性能。
广泛应用于半导体加工、测试、微纳加工、纳米级飞切抛光和高速扫描。
应用领域
一款高精度三轴高精密运动台，点胶机、贴片行业、固晶机、插件机、玻璃切割行业，半导体制造，精密测量，激光加工，科研仪器，显示面板等只要是动梁的都能使用
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